SEMICON KOREA 2019:
così compatti e così accurati

In applicazioni come la produzione di semiconduttori, la misurazione della posizione deve essere accurata, affidabile e dinamica. A SEMICON KOREA, HEIDENHAIN presenta quindi soluzioni innovative che fissano nuovi standard.

LIP 6000 di HEIDENHAIN, MC 15 di RSF e LIKgo di NUMERIK JENA sono i sistemi di misura lineari più compatti delle rispettive categorie:

  • passi di misura fino a 1 nm, 0,05 µm o 1 µm,
  • elevata flessibilità di montaggio in spazi ristretti,
  • dimensioni ridotte delle testine di scansione,
  • misurazioni dinamiche con elevate velocità di traslazione e accelerazioni.

VULCANO XY di ETEL è un sistema di movimento completamente integrato in esecuzione a portale. Si impone in applicazioni in cui sono richieste dinamica e accuratezza di posizionamento particolarmente elevate. I suoi principali vantaggi e caratteristiche sono:

  • ridotti costi di esercizio,
  • sistemi di misura angolari HEIDENHAIN ottici ad alta risoluzione integrati,
  • espansione modulare, ad esempio con QuiET active isolation system per l'isolamento dalle vibrazioni.